日本sonic超聲波微量液體流量計(jì)μLF-300S 超聲波儀器

更新日期：2024-05-17

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簡(jiǎn)要描述：

日本sonic超聲波微量液體流量計(jì)μLF-300S
IPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中的微小區(qū)域的流量控制?

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產(chǎn)品介紹

日本sonic超聲波微量液體流量計(jì)μLF-300S

IPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中的微小區(qū)域的流量控制

?1ml/min起的微量流量測(cè)量

?通過(guò)數(shù)字信號(hào)處理的微量流量高精度測(cè)量
?傳感器部采用非接觸結(jié)構(gòu)有流體
?范圍廣

日本sonic超聲波微量液體流量計(jì)μLF-300S

產(chǎn)品規(guī)格

■ 微小液體流量計(jì)（分體式）

µLF-300S

模型	μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸）
測(cè)量原理	超聲波傳播時(shí)差法
待測(cè)液體	純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 如果使用水以外的液體，請(qǐng)事先確認(rèn)。
適用流體溫度范圍	15°C 至 80°C *如果在 60°C 或更高溫度下使用，請(qǐng)?zhí)崆皺z查
流體壓力	0.5MPa以下
流體運(yùn)動(dòng)粘度	100mm^2/秒或更小
流量范圍	0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分鐘至 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
測(cè)量精度	±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 條件：常溫、恒溫水) ±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 條件：常溫、恒溫水) ±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)
重復(fù)性	±0.2%（純，液溫±0.5℃，30秒平均值）
電源	DC24V ±10%
能量消耗	3.6W以下
重量	傳感器 240g，檢測(cè)器 70g
尺寸 WxHxD(mm)	傳感器 97 x 49 x 127 檢測(cè)器 90 x 25 x 20（不含管）
檢測(cè)單元
管材	PFA（氟樹脂）
管徑	1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米
結(jié)構(gòu)體	相當(dāng)于IP65
附屬電纜	5m，連接器連接
輸入部分
數(shù)字輸出	4 線 RS-422、4 線 RS-485
模擬輸出	4-20mA（瞬時(shí)流量），負(fù)載電阻500Ω以下
集成脈沖輸出	1ch（集電極開路）
報(bào)警輸出	1ch（集電極開路）
接點(diǎn)輸入	1ch（零流量設(shè)置或累計(jì)清除）
按鍵輸入	4 輸入鍵